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以便统一洁净室的气体洁净室等级、各种技术标准，世界各地都相继制订了各有的洁净室规范，知名的美国之音FS209规范就是从1963年刚开始制订公布执行的，到1991年已从209A持续改动转变为。洁净室规范是来源于各种商品生产工艺流程技术性、商品特性的持续科学研究开发设计、升級和各种各样应用规定，对气体洁净度等级及空气污染物的操纵规定持续转变、提升，尤其是半导体材料集成电路芯片的髙速发展是洁净室等级的扩张和操纵颗粒粒度日渐严苛的关键标示；洁净室规范也来源于清洁技术性的科学研究开发设计和发展趋势。因而洁净室规范的执行，对洁净室的设计方案修建和运作具备必要性、应用性，它的统一技术标准，严苛的技术性标准要求，统一的检验方式及其确立、严苛的安全性技术标准，早已变成基本建设洁净室工程项目的关键根据。